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金屬、無機材料的微波氮化處理
金屬、無機材料的氮化處理裝置往往采用等離子體發(fā)生室和處理室合一的裝置。以金屬的氮化處理為例，使用氮和氫的混合氣體，加入氫的目的就是除去金屬表面的氧化物，使氮化容易進行。在離子體中，除了有氮和氫的原子的電離、分子的電離外，同時存在著活潑的氮原子和氫原子等粒子。這些活潑的原子、離子和金屬表面發(fā)生作用，生成氮化物。典型的處理條件是，氣壓為０．１ Ｔｏｒｒ一１ Ｔｏｒｒ，流量為１０ｍ１／ｍｉｎ１００ｍ１／ｍｉｎ，微波能功率為０．５ｋＷ －－ ３ｋＷ，處理時間為幾十分到幾小時。
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